Re: [請益] 關於MIM Cap 的介電材質
※ 引述《jaseper (誰肯給我錢賭王建民贏阿)》之銘言：
: 請問板上的大大 如果一份文件上寫
: 他的MIM 介電材質是用 PECVD Oxide
: 這代表的是他的介電材質是什麼?
: 是Si3N4 還是 SiO2 還是其他的high-k的介電材質??
: 還有他的崩潰電壓大概會是多少呢?? (30V or 更低?)
: 謝謝!!
silicon oxide deposited by plasma enhanced-chemical vapor deposition
the breakdown field will be lower than the silicon oxide grown
via thermal-chemical vapor deposition
and the breakdown voltage is equal to the breakdown field multiply
the thickness of pe-cvd oxide
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.196.145
推
09/22 01:16, , 1F
09/22 01:16, 1F
討論串 (同標題文章)
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