[請益] 關於MIM Cap 的介電材質

看板Electronics作者 (誰肯給我錢賭王建民贏阿)時間19年前 (2006/09/20 03:34), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問板上的大大 如果一份文件上寫 他的MIM 介電材質是用 PECVD Oxide 這代表的是他的介電材質是什麼? 是Si3N4 還是 SiO2 還是其他的high-k的介電材質?? 還有他的崩潰電壓大概會是多少呢?? (30V or 更低?) 謝謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.31.184.9
推
09/20 10:13, , 1F
我以為Oxide是SiO2的英文
09/20 10:13, 1F
→
09/20 21:11, , 2F
是SiO2，我後來查的資料是如此。 感謝推文
09/20 21:11, 2F
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