Re: [問題] 想請問濺鍍相關問題

看板ChemEng作者silicon123 (宏爺)時間13年前 (2011/05/13 22:00)推噓2(2推 0噓 2→)

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感謝各位版大分享的經驗另外還想請教各為是否有看過或有用過兩支RF Gun同時濺鍍嗎因為聽很多人講說兩隻RF同時打電漿會互相干擾還有兩隻Gun的距離太近是否也會互相干擾(還是跟這沒關係) 不知道是否有什麼解決辦法可以解決兩支RF電漿互相干擾的問題因為小弟需要用的兩個靶材都是絕緣靶再次感謝各位大大的分享 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.124.32.3

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yen21

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gamesame7711

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推

IZO

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