[問題] 想請問濺鍍相關問題

看板ChemEng作者 (宏爺)時間13年前 (2011/05/06 23:47), 編輯推噓8(8推 0噓 7→)
留言15則, 9人參與, 最新討論串1/2 (看更多)
想請問各位板大 是否有聽過鐵氟龍靶材 學名是四氟聚乙烯 簡稱PTFE 請問這種靶材要去哪裡買 直接用電漿打出來的就是 TPFE film 嗎 還有聽說高分子材料若進腔體會汙染然後無法清除 就是連刷都刷不掉嗎 麻煩有經驗的板大分享 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 118.166.195.129
推
05/07 00:17, , 1F
怕汙染通常會先在腔體內貼鋁箔吧? 第一次聽過鐵氟龍靶,酷!!
05/07 00:17, 1F
推
05/07 01:00, , 2F
我也第一次聽...
05/07 01:00, 2F
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05/07 01:26, , 3F
我只知道金屬鈀材....
05/07 01:26, 3F
推
05/07 17:13, , 4F
鐵氟龍竟然可以當靶...鍍出來不會掉膜嗎
05/07 17:13, 4F
推
05/07 21:11, , 5F
我只聽過復合陶瓷 跟金屬 真的有高分子的靶!?
05/07 21:11, 5F
推
05/08 01:17, , 6F
的確有喔 之前看過相關paper
05/08 01:17, 6F
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05/08 16:36, , 7F
我是看過有人有用過~所以才想嘗試~不過不知道到底是不
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05/08 16:37, , 8F
是用電漿就可以打出film還是還要再添加氟類氣體~
05/08 16:37, 8F
推
05/13 14:44, , 9F
用電漿就可以打出film,但功率不能太高 否則Teflon會軟化
05/13 14:44, 9F
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05/13 14:47, , 10F
可以鍍成疏水膜,但附著力不好
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05/13 14:49, , 11F
絕緣靶,用RF power吧
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05/13 21:46, , 12F
附著度不好嗎?
05/13 21:46, 12F
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05/13 22:02, , 13F
I大有做過類似的實驗嗎~如果有可以請教I大這方面相關
05/13 22:02, 13F
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05/13 22:03, , 14F
的知識以及依些注意事項嗎^^
05/13 22:03, 14F
推
08/25 11:19, , 15F
怕污染 使用鋁箔紙包覆腔體 用丙酮清
08/25 11:19, 15F
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文章代碼(AID): #1Dn1WS_S (ChemEng)
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