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討論串[問題] 想請問濺鍍相關問題
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Re: [問題] 想請問濺鍍相關問題
推噓2(2推 0噓 2→)留言4則，0人參與, 最新作者silicon123 (宏爺)時間14年前 (2011/05/13 22:00), 編輯資訊
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感謝各位版大分享的經驗. 另外還想請教各為是否有看過或有用過兩支RF Gun同時濺鍍嗎. 因為聽很多人講說兩隻RF同時打電漿會互相干擾. 還有兩隻Gun的距離太近是否也會互相干擾(還是跟這沒關係). 不知道是否有什麼解決辦法可以解決兩支RF電漿互相干擾的問題. 因為小弟需要用的兩個靶材都是絕緣靶.
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[問題] 想請問濺鍍相關問題
推噓8(8推 0噓 7→)留言15則，0人參與, 最新作者silicon123 (宏爺)時間14年前 (2011/05/06 23:47), 編輯資訊
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想請問各位板大. 是否有聽過鐵氟龍靶材. 學名是四氟聚乙烯. 簡稱PTFE. 請問這種靶材要去哪裡買. 直接用電漿打出來的就是 TPFE film 嗎. 還有聽說高分子材料若進腔體會汙染然後無法清除. 就是連刷都刷不掉嗎. 麻煩有經驗的板大分享. 謝謝. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.
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