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作者 yeahbo 在 PTT [ Physics ] 看板的留言(推文), 共608則
限定看板:Physics
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2F→: 濃度會互相抵銷,然後電子散射變強12/01 00:30
1F→: dx/dt要比你想算的物理量的最大傳輸速度還快06/16 23:33
7F推: 因為會繞射,直接投影的話要把繞射效應降到最低就需要把01/05 23:35
8F→: 光阻放到離光罩極度接近、甚至貼在一起的程度,這種做法會01/05 23:36
9F→: 沒有量產價值,因為光罩的損壞速度會很快,這也是奈米壓印01/05 23:37
10F→: 的罩門 XD 所以之後就是採用光學成像投影的方法來做,然後01/05 23:37
11F→: 還會在光罩下面加一層保護層(pellicle),然後因為EUV找不01/05 23:39
12F→: 到可以用的pellicle,所以量產困難,當然EUV還有其他難題01/05 23:39
13F→: 然後光學成像的縮小倍率從一開始的1:1之後也做了很多調整01/05 23:40
14F→: 現在量產通常是用1:4 or 1:5,會選這個比例的理由我忘記了01/05 23:41
15F→: 但是好處之一就是光罩會比較好製作,如果是45nm製程,1:401/05 23:43
16F→: 光罩的最小線寬就是180nm,這線寬對e-beam來說很簡單01/05 23:44
17F→: 另外,為何要保護光罩,因為這東西超貴,先進製程(XX nm)01/05 23:45
18F→: 用的光罩,一塊可以貴到幾百萬新台幣...01/05 23:45
19F→: 糟糕,我看錯問題了,上面當我沒說 XD01/05 23:48
3F→: 簡單的說,切空間格點和時間格點,空間格點數值解微方邊界10/21 10:30
4F→: 值條件,時間格點用疊代10/21 10:31
5F→: 你可以參考Finite-difference time-domain method的資料,10/21 10:34
6F→: 不過FDTD是處理電磁問題的微方10/21 10:34
4F→: ALD的反應溫度通常就是200~300度C,你想要降到80~100度C07/06 12:12
5F→: 就是要靠PEALD才"有機會",而且要找到機器有特別調過的07/06 12:13
8F→: TMA還好啦,記得室溫還是低溫就可以有足夠蒸氣壓了07/08 00:31
1F→: 因為要發生受激吸收,要同時達成動量守恆和能量守恆,06/26 23:23
2F→: 光子的動量太少,所以沒辦法讓電子從Γ跳到Λ或L點06/26 23:25
3F→: 但是CB通常是一段連續的能階,所以可以先在Γ點附近跳上去06/26 23:27
4F→: 然後再經由聲子散射帶間躍遷跑過去06/26 23:28
6F→: 不是看面積,是看"長寬比",電流路徑越長電阻越大、路徑越07/02 11:30
7F→: 寬電阻越小,總電阻 = 片電阻 * 長度 / 寬度,所以因次是07/02 11:31
8F→: 片電阻(歐姆),為了提醒跟物理內涵,所以採用 Ohm/口07/02 11:32
5F→: 無線通訊也是用電磁波傳輸啊~可是傳輸量是光速嗎? XD05/08 21:30
11F→: 用FIB,幾分鐘就搞定啦~01/14 12:09
1F→: 應該是從Ar被游離跑出來的吧?12/30 12:27