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作者 tcc529 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共7則

限定看板：NEMS

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[ NEMS ]7 留言, 推噓總分: 0

作者: ak43gh7py - 發表於 2013/02/21 01:31(13年前)

1^F→tcc529:基本上塑膠光罩的解析度原本就不比鉻膜光罩來的好，因此會02/21 10:21

2^F→tcc529:出現曝光後尺寸與設計不符的狀況也是合理，再說你的深寬比02/21 10:22

3^F→tcc529:接近1：1，在曝光跟顯影時也不容易做到非常完美，建議如果02/21 10:23

4^F→tcc529:製程容許的話減低光阻厚度試試看，就之前做的經驗看，會誤02/21 10:24

5^F→tcc529:差2~5um都算可容忍的範圍，不過我們是做50um以上的線寬，因02/21 10:25

6^F→tcc529:此對這種誤差就覺得無所謂囉~~02/21 10:25

[ NEMS ]1 留言, 推噓總分: +1

作者: jo78jo78 - 發表於 2012/09/20 10:34(13年前)

1^F推tcc529:雷傑科技...在新竹水利路09/20 12:16

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