作者查詢 / panzerfausty
作者 panzerfausty 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共16則
限定看板:NEMS
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1F→:濕蝕刻不清楚,倒是可以去借一下H2O plasma(microwave10/22 21:32
2F→:2.4GHz)~就一般stripping用的H2O plasma,效果強大,只10/22 21:34
3F→:是要小心,時間不能長,打久就不是桂林,是下龍灣了!10/22 21:35
4F→:樓上大大所言甚是,不過原PO問的是"眼睛",一般而言"眼10/17 22:53
5F→:睛"應是縮限至alignment mark,所以無須經stepper/10/17 22:56
6F→:/scanner多層光罩對準的晶圓就不會有"眼睛". 又部分10/17 22:57
7F→:aligner沒有用到如此精準的aligment system,則即便有10/17 23:00
8F→:數層光罩對準需要也無須另行製作"眼睛".10/17 23:01
3F→:LOCOS and SEM...11/06 19:43
7F→:STS Pegasus可以12/25 01:10
1F→:process information應該Google就太多了,請自行檢索.08/20 09:49
2F→:若是機台資訊方面,幾大運用Bosch etch的機台廠商,如08/20 09:51
3F→:STS, Alcatel, Oxford...都能查/問到東西.08/20 09:52
1F→:建議詢問low-end光罩製造廠商/lab,其CR-7的lifetime08/08 01:47
2F→:control是有規範的 (甚至包含hood exhaust)08/08 01:49
8F→:NMP, IPA08/08 16:56
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