作者查詢 / kevinlee49
作者 kevinlee49 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共14則
限定看板:NEMS
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1F推: 3MPT02/12 06:43
3F推: 用脫膜劑,損傷應該會比較小08/27 16:41
2F推: 借問一下,wire bonding不行是因為會把PDMS融掉嗎?08/21 15:45
4F→:3MPT這個方法我有試過,不過一樣是用InP基板,結果失敗06/29 22:45
5F→:多問個問題...如果說在Si上用PMMA做金lift-off...06/29 22:46
6F→:會不會一灌ACE就造成整個PATTERN全部飄掉?06/29 22:46
7F→:3MPT改質方法是直接泡一小時然後用酒精rinse跟吹乾?06/29 23:01
13F→:所以你的意思是說我鍍完金以後,不要直接泡ACE?06/29 23:13
14F→:改用MIBK顯影液吃掉光阻一些,此時再泡ACE或是去光阻劑?06/29 23:14
15F→:氣相改質是什麼儀器可以指點一下嗎?感謝06/29 23:16
18F→:用純的MPT還是有用其他有機液體稀釋?06/29 23:28
21F→:可是過度顯影到最後應該還是要用ACE撥除剩下的部分吧?06/29 23:31
22F→:還是說真的是用顯影液泡到全部消失?06/29 23:32
25F→:基本上我試過dry peel off 電極會有皺褶 但是有導通07/15 23:49
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