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作者 kevinlee49 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共14則
限定看板:NEMS
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[問題]PDMS與金的接著問題
[ NEMS ]1 留言, 推噓總分: +1
作者: TR104 - 發表於 2015/09/15 11:37(10年前)
1Fkevinlee49: 3MPT02/12 06:43
[問題] 請問pdms翻siwafer母模,母模4um柱狀結構斷掉
[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +2
作者: pierre - 發表於 2014/08/26 12:49(11年前)
3Fkevinlee49: 用脫膜劑,損傷應該會比較小08/27 16:41
[問題] PDMS 上製作導線
[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +1
作者: a876352000 - 發表於 2014/08/20 16:31(11年前)
2Fkevinlee49: 借問一下,wire bonding不行是因為會把PDMS融掉嗎?08/21 15:45
[問題] 在PDMS上製作金電極
[ NEMS ]25 留言, 推噓總分: +5
作者: kevinlee49 - 發表於 2014/06/29 22:23(11年前)
4Fkevinlee49:3MPT這個方法我有試過,不過一樣是用InP基板,結果失敗06/29 22:45
5Fkevinlee49:多問個問題...如果說在Si上用PMMA做金lift-off...06/29 22:46
6Fkevinlee49:會不會一灌ACE就造成整個PATTERN全部飄掉?06/29 22:46
7Fkevinlee49:3MPT改質方法是直接泡一小時然後用酒精rinse跟吹乾?06/29 23:01
13Fkevinlee49:所以你的意思是說我鍍完金以後,不要直接泡ACE?06/29 23:13
14Fkevinlee49:改用MIBK顯影液吃掉光阻一些,此時再泡ACE或是去光阻劑?06/29 23:14
15Fkevinlee49:氣相改質是什麼儀器可以指點一下嗎?感謝06/29 23:16
18Fkevinlee49:用純的MPT還是有用其他有機液體稀釋?06/29 23:28
21Fkevinlee49:可是過度顯影到最後應該還是要用ACE撥除剩下的部分吧?06/29 23:31
22Fkevinlee49:還是說真的是用顯影液泡到全部消失?06/29 23:32
25Fkevinlee49:基本上我試過dry peel off 電極會有皺褶 但是有導通07/15 23:49
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