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作者 kevinho0603 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共11則
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Re: [問題] 硬考時間????
[ NEMS ]21 留言, 推噓總分: +3
作者: SkyLark2001 - 發表於 2013/12/05 17:09(10年前)
1Fkevinho0603:感謝這麼精闢的回答,因為我需要把325um的晶圓打穿,12/06 16:52
2Fkevinho0603:應該是需要硬烤,如不硬烤,在打ICP時光阻應該會12/06 16:55
3Fkevinho0603:不夠力吧。所以說硬烤時間要比軟考時間長嗎?12/06 16:57
14Fkevinho0603:這樣我了解了,感謝你這麼棒的回答:)12/12 13:32
15Fkevinho0603:我想問你提到 RIE descum的部分,我是曝光定義圖案後12/12 13:46
16Fkevinho0603:使用BOE將氧化層吃掉,這樣還有需要使用RIE???12/12 13:47
21Fkevinho0603:謝謝你的回答!!!!02/06 10:10
[問題] 硬考時間????
[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +2
作者: kevinho0603 - 發表於 2013/12/03 15:27(10年前)
3Fkevinho0603:如果我之後是要打ICP呢?12/05 15:24
[問題] 微奈米結構之機械性質應用
[ NEMS ]2 留言, 推噓總分: +1
作者: bank00177 - 發表於 2012/09/10 15:43(11年前)
2Fkevinho0603:感覺被抓包 XDDDDD09/11 12:16
[問題] 有點笨的曝光問題
[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: 0
作者: kevinho0603 - 發表於 2012/09/06 15:57(11年前)
2Fkevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都沒講到這些東꘾09/07 19:03
3Fkevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都沒講到這些東西09/07 19:04
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