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作者 chiio 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共3則
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[問題] 如何得到剖面的耐米結構SEM
[ NEMS ]10 留言, 推噓總分: +4
作者: MicroOptics - 發表於 2008/06/14 20:30(17年前)
7Fchiio:s大的方法也是我們所採用的方法,效果不錯06/15 20:27
8Fchiio:另外請問一下原po,你們100nm的線寬是用什麼pattern出來的呢06/15 20:28
9Fchiio:E-beam嗎? 還是其他方法呢?06/15 20:28
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