[問題] 如何得到剖面的耐米結構SEM

看板NEMS作者 (啦)時間16年前 (2008/06/14 20:30), 編輯推噓4(4推 0噓 6→)
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大家好 我的問題是 我在SI上長20000A的SIO2 然後製作週期為300~600nm 線寬為100nm深度為100nm的1D或2D結構 我至今最好的SEM圖是邊緣有破裂的 換言之無法用於paper或申請文件上的 有沒有人有辦法或其它資源的 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.5.24
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06/14 20:31, , 1F
順便問一下 PDMS要如何照SEM呢
06/14 20:31, 1F
推
06/14 20:47, , 2F
先渡一層金屬鈀材在上面 在用SEM照會比較清楚
06/14 20:47, 2F
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06/14 20:48, , 3F
記得貼銅膠帶在sample上增加導電度!
06/14 20:48, 3F
推
06/15 00:44, , 4F
用dual beam FIB切完後 傾倒直接照cross section SEM
06/15 00:44, 4F
推
06/15 00:48, , 5F
鍍金屬建議選用Pt表面比較平整 鍍黃金是比較常見
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06/15 00:50, , 6F
剖面通常都是 就是倒過來剖面向上 底下黏10元硬幣
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06/15 20:27, , 7F
s大的方法也是我們所採用的方法，效果不錯
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06/15 20:28, , 8F
另外請問一下原po，你們100nm的線寬是用什麼pattern出來的呢
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06/15 20:28, , 9F
E-beam嗎？ 還是其他方法呢？
06/15 20:28, 9F
推
06/16 12:38, , 10F
不然掃AFM吧 krkr
06/16 12:38, 10F
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