[問題] photo-CVD

看板Physics作者 (花哈哈)時間18年前 (2007/10/05 22:09), 編輯推噓0(0推 0噓 0→)
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在長SiO2的方法，我看到有用photo-CVD這種方法長 請問photo-CVD和一邊其他方法的CVD有什麼不同 文獻上說可以得到比較hogh quality SiO2 layer 為什麼呢？ 不知道板上的人知道嗎？ 謝謝！　 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.216.190.243
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