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討論串[問題] photo-CVD
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Re: [問題] photo-CVD
推噓1(1推 0噓 0→)留言1則，0人參與, 最新作者csddd (csddd)時間18年前 (2007/10/06 10:03), 編輯資訊
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不要理它。. 因為用啥麼方法做實驗的人就會在 paper 上面說那種方法. 的優點。. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 59.113.78.191.
#1
[問題] photo-CVD
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者ohohyesyes (花哈哈)時間18年前 (2007/10/05 22:09), 編輯資訊
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在長SiO2的方法，我看到有用photo-CVD這種方法長. 請問photo-CVD和一邊其他方法的CVD有什麼不同. 文獻上說可以得到比較hogh quality SiO2 layer. 為什麼呢？. 不知道板上的人知道嗎？. 謝謝！. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ F
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