Re: [閒聊] Baking二三事
: 推 iyoweiy:昨天DEP valve開的時候，兩支gauge完全沒有點亮他還是開了 10/03 03:50
: → iyoweiy:一開始跳掉的時候是我把氮氣vent進去為了要拿moly 10/03 03:52
: → iyoweiy:但是氮氣閥一開dep valve瞬間關上，此時壓力約8e-5 10/03 03:54
: → iyoweiy:我們確定 梅花all metal valve是完全關住的 10/03 03:55
: → iyoweiy:當時想開啟dep valve按了完全沒反應，感覺就是被鎖住 10/03 03:56
: → iyoweiy:後來只好用turbo重新下抽，下抽到prep gauge顯示5e-3 10/03 03:57
: → iyoweiy:我們直接在dep跟beam gauge沒點的情況下開dep valve 10/03 03:58
: → iyoweiy:結果就打開了，所以好像不太了解他的interlock到底綁在哪 10/03 03:59
: → iyoweiy:QQ? @@? 10/03 03:59
在baking控制器的右邊的鐵板上面有貼一張表
疑似是馬哥整理的。
上面是interlock開關對應的狀況，(塑膠盒控制器上面有四個數字)
如果那張表上面沒有DP main valve，那大概就是在舊的大控制箱上面了。
如果是這樣的話就算了。
DP main valve應該是有綁 dep chamber壓力。
是說，除了dep 壓力，我們好像也沒有特地monitor別的東西。QQ
記憶中以前點plasma的時候都會特地去扳 bypass。
依據聖上的說法，更早期的interlock也有綁DP oil heater。
這部份我就不知道了。
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