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討論串[問題]HMDS使用問題
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[問題]HMDS使用問題
推噓3(3推 0噓 6→)留言9則，0人參與, 最新作者areckin (女王萬歲)時間13年前 (2011/05/07 00:50), 編輯資訊
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我有以下關於使用HMDS的問題:. 1.若在手套箱裡使用spin coater塗佈HMDS在Si wafer上. 有無毒性安全上的問題?. 2.可否提供適當的轉速、時間、烤乾的溫度時間嗎?. 3.在後續製程會用O2 RIE去除光阻，那光阻底下的HMDS是否會連同光阻清除掉?. 謝謝!. --. ※
#2
Re: [問題]HMDS使用問題
推噓3(3推 0噓 0→)留言3則，0人參與, 最新作者SkyLark2001 ( )時間13年前 (2011/05/18 04:19), 編輯資訊
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1. 一般HMDS 用旋塗方式塗佈的環境用有 fume hood(抽風櫃)的 spin coater就可以了，處理方式與一般光阻同. 事實上台灣的製程界中HMDS口耳相傳是致癌物，但一般HMDS的MSDS上卻並無此一說. http://www.jtbaker.com/msds/englishhtml
(還有505個字)
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