[問題] lift off問題

看板NEMS作者s869225 (茶碗蒸)時間5年前 (2018/12/06 18:53)推噓3(3推 0噓 3→)

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各位前輩學長好小弟在lift off上遇到了點問題就是在做震洗的時候在同一片基板下，有些pattern會被震洗掉，有些卻又不會明明是同樣的製程條件為什麼會有這樣的情況呢跟基板的均勻度會有關嗎？使用的基板為玻璃　光阻AZ1500 使用E-BEAM蒸鍍材料為Ti/Cu 500A/2000A -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 203.64.92.43 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1544093613.A.065.html

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saxlan

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cupidboy

12/12 01:19, 5年前 , 2^F

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cupidboy

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