[問題] lift off問題

看板NEMS作者goofy4ni (高飛)時間6年前 (2017/10/02 21:18)推噓6(6推 0噓 1→)

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各位大大好小弟最近在lift off上有個問題光阻az4620 厚度約8um 基材：玻璃金屬：cr 30nm au 50 蒸鍍後lift off ：浸泡丙酮1分鐘後振洗2分鐘今天第一片浸泡時，沒看到光阻被洗掉，振完後大致結構還不錯，但是會有剝離掉金屬黏在試片上第二片則在浸泡時光阻已被洗掉一半我有個壞習慣會蒸鍍幾片後再去lift off 不知道是不是這樣而會影響上一次lift off 時候並沒有遇到振洗完的金屬黏在試片上，不知道有沒有大大也有遇過此問題 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.8.131.166 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1506950296.A.57B.html

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a12121415

10/12 02:22, 6年前 , 1^F

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sunchloveann

11/09 00:52, 6年前 , 2^F

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sunchloveann

11/09 00:53, 6年前 , 3^F

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