Re: [問題] Tio2氣體感測器

看板NEMS作者 (carter696945)時間6年前 (2018/03/09 10:57), 編輯推噓11(11推 0噓 7→)
留言18則, 2人參與, 6年前最新討論串2/3 (看更多)
你好： 若是在量測上的問題，或許我能幫你解決。 請問貴單位是哪呢？ ※ 引述《b10238056 (cyhuang)》之銘言： : 請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜 : 結果薄膜沒有電阻反應 : 靶材是99.99%Tio2 : 濺鍍時只有用氬氣 : 試問為什麼呢？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.139.69.89 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1520564253.A.791.html
推
03/09 23:17, 6年前 , 1F
您好 我是學術單位的研究生 該如何跟您聯繫呢？想跟您
03/09 23:17, 1F
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03/09 23:17, 6年前 , 2F
學習與請教
03/09 23:17, 2F
推
03/11 09:14, 6年前 , 3F
有退火嗎
03/11 09:14, 3F
推
03/11 15:42, 6年前 , 4F
您好 我有拿去大氣退火 450度 退火完後在電極量測常溫
03/11 15:42, 4F
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03/11 15:42, 6年前 , 5F
下沒有電阻 有加熱後才有電阻
03/11 15:42, 5F
推
03/11 15:44, 6年前 , 6F
隨後還有嘗試真空退火 450度 而在常溫下量測電極是有電
03/11 15:44, 6F
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03/11 15:44, 6年前 , 7F
阻的 基板加熱通氮氣時 電阻反而上升 結果很奇怪 照理
03/11 15:44, 7F
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03/11 15:44, 6年前 , 8F
說應該要降低 請問會有什麼問題呢？
03/11 15:44, 8F
推
03/12 01:54, 6年前 , 9F
聽起來是你沉積的時候沒加熱 導致晶格相跑掉
03/12 01:54, 9F
推
03/12 01:57, 6年前 , 10F
通氮氣會提高 理論上不太可能 除非你的氮氣不是
03/12 01:57, 10F
推
03/12 01:57, 6年前 , 11F
高純氮 有參到一點其他氣體 或漏氣
03/12 01:57, 11F
推
03/12 13:47, 6年前 , 12F
您好 我在濺鍍時 基板溫度固定在350度 我用的氮氣是普
03/12 13:47, 12F
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03/12 13:47, 6年前 , 13F
通的氮 後續我改為高純氮試看看
03/12 13:47, 13F
推
03/12 13:49, 6年前 , 14F
請教一下 二氧化鈦的工作溫度大概多少呢？
03/12 13:49, 14F
推
03/12 13:54, 6年前 , 15F
我每次通氮氣的時候 電阻一直往上提升 我懷疑是氮氣吹
03/12 13:54, 15F
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03/12 13:54, 6年前 , 16F
出來的風影響的 灌氧氣進去確實也是提升 但是這樣整個
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03/12 13:54, 6年前 , 17F
實驗沒有準確性可言
03/12 13:54, 17F
推
03/12 14:33, 6年前 , 18F
後續我有試看看酒精放置腔體內揮發 電阻是有降低的
03/12 14:33, 18F
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