[問題] Tio2氣體感測器

看板NEMS作者 (cyhuang)時間6年前 (2018/01/25 22:52), 編輯推噓4(4推 0噓 6→)
留言10則, 3人參與, 6年前最新討論串1/3 (看更多)
請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜 結果薄膜沒有電阻反應 靶材是99.99%Tio2 濺鍍時只有用氬氣 試問為什麼呢？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.233.45.166 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1516891973.A.44E.html
推
01/27 14:34, 6年前 , 1F
太絕緣，超過電阻計檔位上限？
01/27 14:34, 1F
推
01/27 18:54, 6年前 , 2F
可以試試看退火
01/27 18:54, 2F
→
01/27 19:36, 6年前 , 3F
那如果是用鈦金屬靶+氧氣 濺鍍呢？這樣比較容易有電阻
01/27 19:36, 3F
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01/27 19:36, 6年前 , 4F
嗎？
01/27 19:36, 4F
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01/27 19:37, 6年前 , 5F
因為純二氧化鈦 是陶瓷靶 根本就是絕緣 我用四點探針一
01/27 19:37, 5F
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01/27 19:37, 6年前 , 6F
樣沒有電阻
01/27 19:37, 6F
推
01/28 00:42, 6年前 , 7F
濺鍍TiO2鈀材時再多通氧進去，調變通氧量試試看
01/28 00:42, 7F
推
01/28 01:35, 6年前 , 8F
換個地方測電阻吧，應該在Gohm等級，若你的儀器上限
01/28 01:35, 8F
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01/28 01:35, 6年前 , 9F
只能測到100Mohm，當然量不到電阻
01/28 01:35, 9F
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01/28 16:57, 6年前 , 10F
目前已經是純二氧化鈦 在通氧氣 電阻會變比較小嗎？
01/28 16:57, 10F
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