Re: [問題] PDMS翻膜線寬180nm的光柵形結構
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: ◆ From: 140.117.32.54
: 推 Jeffch:深度是多少? 05/09 05:43
: 推 xneptunex:用正己烷稀釋PDMS看看 05/09 09:51
稀釋可以降低PDMS黏稠度，在第一步抽真空的時候能讓使配好的PDMS內氣泡較快被抽光
: → tengyuan:深度沒量過，有用AFM量過但不準，凹下去的部分變尖的 05/09 13:41
: → tengyuan:有拍過SEM看正面，感覺應該是接近方波狀，所以才覺得AFM 05/09 13:42
: → tengyuan:不準，甲苯可以取代正己烷稀釋嗎?? 05/09 13:43
兩種我都用過，皆可溶PDMS，toluene揮發比較快，hexane較慢
: → tengyuan:因為樣品只有一塊，有非接觸可量出深度的儀器嗎? 05/09 13:46
: → tengyuan:我們學校有Alpha-Step，他解析度算高且是非接觸的嗎? 05/09 13:48
: → tengyuan:請問一下，如果我在基板上打了氧電漿和上脫膜劑，是否可 05/09 15:58
: → tengyuan:以增加成功率? 05/09 15:59
: 推 s75287:應該要切開看側面...y 05/09 16:14
: 推 s75287:Alpha-Step 是接觸式的 應該伸不進去你的孔洞 05/09 16:52
應該只有切開一途
: 推 s75287:脫模劑可能要揮發式的silane才行 ... 05/09 16:53
一般常見的silanization就只是把些許silane置入desiccators，放入sample後抽氣，腔
內低壓有助silane揮發，silane會自行在sample表面形成一個self-assembled monolayer
(SAM)。
除了vapor-phase外其實還有liquid-phase的，據說效果還更持久，但我個人沒用過。
至於原PO用蒸鍍的方式我倒是沒做過。
: 推 s75287:但是我覺得流不進去是裡面卡空氣的關係.... 05/09 16:54
: 推 s75287:稀釋+抽真空才是王道... 05/09 16:54
當PDMS澆鑄上孔穴時，因為表面張力(表面處理)的原因會讓PDMS自行灌滿孔穴，其過程
依aspect ratio不同，時間可能從幾秒到幾分鐘，有文獻報導其灌滿的過程(理論計算
+實驗)，如果表面處理沒做好造成孔穴內有空氣，之後再怎麼抽都無法把空氣抽出來。
反之，如果一開始表面處理有做好，PDMS會自己被"吸"進去
: → tengyuan:讓pdms自然固化是不是比用烘烤來的好? 05/09 21:34
: 推 s75287:感覺還是有一點差...說不出來的感覺...自己體會一下XD 05/10 10:56
: → tengyuan:s大，你就得用烤的會比自然固化來的好? 05/10 11:51
PDMS在不同溫度下固化會造成硬度不同，有文獻報導其固化溫度與Young's Modulus間
的關係，基本上溫度越高越硬，如果是室溫固化PDMS硬度大概跟橡皮筋一樣 XDD，
所以即使有翻模成功，可能出來也的東西都是倒的。
一開始請教原PO的sample深度是想確定模子aspect ratio，確實做過表面處理的模子應
可以翻出aspect ratio 1:5~1:10的形狀。然而因為硬度的關係超過一定aspect ratio
的PDMS會受 1.相鄰PDMS間作用力 2.與基板間作用力影響而倒下或彼此沾黏。
所以原PO的SAMPLE可能有翻模成功 (因有看到印子)，但是都倒了或是彼此黏在一起(故
看不到繞射)，PDMS因為導電性比較差，所以在這尺度本來就需要花一些力氣才能看到，
如果相黏在一起就更難看到了。
結論是如果PDMS太軟即使翻出來也會倒(和間距也有關)，太硬可能會在脫模過程中斷掉。
我曾做過直徑約150 nm，高度約1 um的結構，不過脫模後看起來就像一團麵條...= =+
目前超過1:10的結構要能直立大多是用H-PDMS。
若排除表面處理問題，建議原PO可以再看一下SEM。看是不是都倒了(太軟)或是斷在
模子裡面(裡面)。
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◆ From: 174.54.69.214
推
05/10 17:51, , 1F
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→
05/10 17:52, , 2F
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