Re: [問題] 用正光阻LIFT OFF

看板NEMS作者 (廖小藍)時間11年前 (2013/04/11 01:03), 編輯推噓3(3推 0噓 14→)
留言17則, 5人參與, 最新討論串3/5 (看更多)
借標題一問 小弟最近也在用AZ 4620做Lift off 有幾個問題想請教各位前輩 1. 大家都建議AZ光阻要搭配HMDS使用 但我們實驗室並沒有HMDS 爬文也沒人提到如果沒用的效果是如何 難道真的非用不可嗎? 我的基板是Si+SiO2 2. 我知道Hot plate與Oven兩種加熱方式不太一樣 像SU8 data sheet就有明文建議使用Hot plate 而AZ4620就沒有看到有相關說明 不曉得對於AZ來說是不是一樣? 有沒有人分享經驗呢? 謝謝各位 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.230.73.92
推
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AZ系列以我的使用經驗來說，事先沒塗HMDS光阻真的很容易
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脫落
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AZ系列一般使用hotplate或是oven都可以
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只是使用hotplate要注意，如果有鋪一層鋁箔或是無塵紙
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的話，實際溫度可能會比設定值低一點，建議多加個5度，
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或是乾脆不要鋪任何東西
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謝謝J大
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請你去看清楚HMDS的MSDS再來說會不會致癌
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我知道裡面沒寫會致癌阿,但大家都這樣說,小心點總是
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好的,而且我只是說"可能"..
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推
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11. Toxicological Information
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謝樓上，那我修改文章好了
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※ 編輯: LittleBlue21 來自: 140.112.17.181 (04/12 13:45)
推
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結果根據這份MSDS，沒致癌反倒懷疑致腫瘤 orz
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不過無論如何不管是acetone, 光阻還是HMDS, 都不要拿
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出非hood之外的地方使用最保險。只能說台灣做製成的
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環境真的很不好。很多無塵室的spinner都不是放hood裡
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