作者查詢 / jeffdon2
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jeffdon2 在 PTT 最新的留言, 共 284 則
3F推: 二樓的是動畫英文名稱 中文是妖獸戰線 第3集的劇情06/20 21:14
6F推: adventure kid vol.3應該是這個03/02 21:33
4F推: 1是外道學園吧03/28 21:21
9F推: 應該是淫獸聖戰第2集-聖獸傳的開頭吧01/16 00:25
3F推: 20nm除非有RRC不然uniformity一定很差07/29 19:26
4F→: 增加倒上去的光阻量可以稍微改善,但是幫助不大07/29 19:27
5F→: 建議還是要有RRC07/29 19:27
6F推: 可以用手動版的RRC試試看,先倒一些光阻溶劑在wafer上07/29 19:33
7F→: 趁溶劑還沒被甩乾前趕快上PR,這樣應該可以改善07/29 19:34
8F→: 只是厚度會有一些減少,建議用OP量測厚度重新K轉速07/29 19:35
9F推: 沒錯就是預先將溶劑倒上去,但是一般都是要由機械手臂07/29 22:28
10F→: 精準控制溶劑甩開僅剩少量滯留wafer表面的時間點07/29 22:29
11F→: 所以才說以一般簡易的coater很難做到這件事07/29 22:30
12F→: 通常都是全自動化的track才有可能這樣做07/29 22:30
13F推: 所以我才說這是手動版uniformity會改善,但是WtW07/29 22:38
14F→: 的厚度會有差,人不可能像機械那麼精準07/29 22:39
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