[問題] 製成的poly 或 多晶矽 在OM下的顏色?
目前製作的是T18的後製成,而製程中需用到ICP打掉背後的substrate。
在設計時有加入poly層,原本poly層在我的設計中是保護層,
但在ICP時,會蝕刻掉poly 多晶矽。
所以想知道poly 在OM下的顏色,在蝕刻到poly的時候便停止ICP。
想請問各位有無遇到此情況??
「過程可能是打ICP一個cycle,便去OM下看是否打到poly。」
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◆ From: 1.34.92.111
推
03/22 04:11, , 1F
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