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討論串[問題] 製成的poly 或 多晶矽 在OM下的顏色?
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[問題] 製成的poly 或 多晶矽 在OM下的顏色?
推噓1(1推 0噓 0→)留言1則，0人參與, 最新作者robin0338 (右腦)時間11年前 (2013/03/21 22:59), 編輯資訊
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目前製作的是T18的後製成，而製程中需用到ICP打掉背後的substrate。. 在設計時有加入poly層，原本poly層在我的設計中是保護層，. 但在ICP時，會蝕刻掉poly 多晶矽。. 所以想知道poly 在OM下的顏色，在蝕刻到poly的時候便停止ICP。. 想請問各位有無遇到此情況??.
#2
Re: [問題] 製成的poly 或 多晶矽 在OM下的顏色?
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者robin0338 (右腦)時間11年前 (2013/03/22 12:45), 編輯資訊
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poly 是否跟silicon一樣，是依據厚度來判斷顏色。. --. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 1.34.92.111.
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