[問題] 玻璃蝕刻

看板NEMS作者 (憨廷)時間12年前 (2012/09/25 10:38), 編輯推噓2(202)
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最近打算用BOE蝕刻載玻片,以做出所要的圖案(正面用AZ4620當作阻檔層), 請問一下,BOE會側向蝕刻載玻片嗎?sample放進去BOE溶液中,背面不就也被蝕刻了, 這有沒有什麼解決方式?謝謝大家!~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.120.105.45

09/25 11:21, , 1F
1.會側向蝕刻 2.背面用耐熱膠帶完全貼住就可以擋了
09/25 11:21, 1F

09/25 14:50, , 2F
謝謝喔!~
09/25 14:50, 2F

09/25 15:55, , 3F
想請問j大那邊有沒有boe蝕刻玻璃的速率參數?
09/25 15:55, 3F

09/25 16:30, , 4F
找BOE蝕刻SiO2的速率就是了,可能略有差異
09/25 16:30, 4F
文章代碼(AID): #1GOHaWtf (NEMS)
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