[問題] 玻璃蝕刻
最近打算用BOE蝕刻載玻片,以做出所要的圖案(正面用AZ4620當作阻檔層),
請問一下,BOE會側向蝕刻載玻片嗎?sample放進去BOE溶液中,背面不就也被蝕刻了,
這有沒有什麼解決方式?謝謝大家!~
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