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討論串[問題] 線寬1um的玻璃光罩
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[問題] 線寬1um的玻璃光罩
推噓1(1推 0噓 4→)留言5則，0人參與, 最新作者Zoma (喔喔喔~~~)時間13年前 (2011/04/14 14:31), 編輯資訊
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請問有誰知道哪裡有再作線寬1um甚至是0.8um的光罩呢?. 學校單位包括交大~NDL~中央~中研院的規格都是2um的. 不知道有沒有人委外作過線寬1um的光罩. 我是想做在4吋玻璃上...但實際區域只會用到2cm*2cm. 不知道這樣收費會多少? 謝謝囉. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(pt
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Re: [問題] 線寬1um的玻璃光罩
推噓6(6推 0噓 9→)留言15則，0人參與, 最新作者spp100 (spp)時間13年前 (2011/04/14 17:58), 編輯資訊
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取 4" glass 一片. 鍍 Ti/Cr layer. 上光阻. E-beam 曝光顯影. Cr-7 蝕刻 Ti/Cr layer. 去光阻. 收 工 ^o^. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 220.132.235.161.
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