[請益]濺鍍鋁膜

看板Master_D作者 (QQ)時間15年前 (2008/10/25 17:53), 編輯推噓4(4推 0噓 4→)
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最近需要濺鍍(sputter)鋁膜(厚度約50nm) 原先實驗室有一塊表面有變黑色的鋁靶，有用砂紙把它磨到表面變成有金屬光澤了 不過濺鍍的結果發現沒鍍上去 所以後來買了一塊新的鋁靶 但不論新舊鋁靶 每次濺鍍的功率都大概開80~100瓦，鍍了2~10分鐘，真空度也都有到10的-5次方 鍍了幾次仍然都沒鍍上去(即使是後來鍍到10分鐘的也是) (有用電表量過完全沒電性，故認為沒有鋁膜濺鍍上去) 對於新的鋁靶，每次預鍍也都有10分鐘 但機台其他同學鍍其他的靶材都ok 實在是百思不得其解 煩請有經驗的各位不吝提供一些建議 謝謝大家! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 59.104.191.225
推
10/25 18:21, , 1F
RF or DC?
10/25 18:21, 1F
推
10/25 20:22, , 2F
2~10min 時間是不夠的!!!
10/25 20:22, 2F
推
10/25 21:04, , 3F
給樓上 就算時間不夠 每秒給你1A/s速率 鍍超過200A以上就看
10/25 21:04, 3F
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10/25 21:05, , 4F
的出來 因為Al的skin depth才100多A 透明玻璃都能看的出差異
10/25 21:05, 4F
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10/25 21:06, , 5F
建議還是無法確定有無鍍上 玻璃片放進去 就知道有沒有鍍上去
10/25 21:06, 5F
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10/25 21:07, , 6F
電表會量不到 有時候是膜太薄導為非連續性膜 電阻大之類的
10/25 21:07, 6F
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10/25 21:36, , 7F
打AES??
10/25 21:36, 7F
推
10/25 22:40, , 8F
10min 鍍不到什麼吧 速率太快 品質會很差
10/25 22:40, 8F
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請益
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app13
15年前, 10/25
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