[請益]SEM量膜厚

看板Master_D作者 (QQ)時間17年前 (2008/09/15 00:29), 編輯推噓9(9推 0噓 5→)
留言14則, 8人參與, 最新討論串1/2 (看更多)
請問各位 我目前在基板上鍍了兩層不同材料的膜 請問能否利用SEM拍橫截面的剖面圖進而只用SEM分別量出各層的膜厚呢? 請有經驗的同學告知一下 非常感謝! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.174.34.33
推
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yep, u can!
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推
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除非很厚才可以
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看儀器跟拍的功力吧 誰說奈米級拍不到
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09/15 02:58, , 4F
你需要多準確?? 要精準到一兩奈米可能頗難....
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09/15 14:26, , 5F
可以用外國人的浪漫 橢圓儀 量看看
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阿法-Step也不錯
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樓上 alpha-step 要分別量出各層 有難度相當的難度
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我是建議原PO啦 如果很有心 就做TEM試片吧 (逃XD)
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TEM連超晶格都可以看的到
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不過試片製作 會很想哭 要面跟面對貼 用G1膠黏
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磨的時候 很想哭 ~~~~
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SEM附掛軟體可量(一套價值不斐) 滑鼠拉線利用畫素換算長度
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推
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兩層測一次 單層測一次 用減法就知道第二層 重點是準確度
09/15 16:52, 13F
推
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請愛用場發...
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請益
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[請益]SEM量膜厚 SEM量膜厚
app13
17年前, 09/15
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