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討論串[請益]SEM量膜厚
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Re: [請益]SEM量膜厚
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者violing0218 ((￣▽￣")>)時間17年前 (2008/09/15 01:07), 編輯資訊
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要看你的薄膜的導電度以及厚度. 導電性越好越可以辨別. 導電性差照片可能模糊. 對厚度而言. 因為SEM的厚度誤差蠻大的. 所以你的薄膜若小於10nm. 應該就無法得到準確的厚度. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 220.136.210.92. ※ 編輯: vi
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[請益]SEM量膜厚
推噓9(9推 0噓 5→)留言14則，0人參與, 最新作者app13 (QQ)時間17年前 (2008/09/15 00:29), 編輯資訊
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請問各位. 我目前在基板上鍍了兩層不同材料的膜. 請問能否利用SEM拍橫截面的剖面圖進而只用SEM分別量出各層的膜厚呢?. 請有經驗的同學告知一下. 非常感謝!. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 218.174.34.33.
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