[情報] 請問E-BEAM相關問題
我目前是想用E-BEAM寫在鋁上面
我要的pattern寬度大概是100nm
因為寫的東西很小
所以我有在要寫的東西的附近做一些可以讓我好對到的pattern
那個要要用來對準的pattern大約1um（這樣我用OM就看的到）
但是我卻連這個1um的pattern都寫不出來
我很沮喪，我寫了很多次，參數也試過很多組了
但是也都寫不出來
請問有人有寫在鋁上過嗎
要注意那些條件影響呢
請大家幫幫忙了
已經碩二了
很怕會延畢
謝謝
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