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討論串[情報] 請問E-BEAM相關問題
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Re: [情報] 請問E-BEAM相關問題
推噓3(3推 0噓 1→)留言4則，0人參與, 最新作者zemio (這個夏天有點藍)時間19年前 (2007/01/12 14:52), 編輯資訊
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你說得很籠統，寫不出來是顯影後，看不到任何的圖像，還是，圖形狀走樣了?. 如果是光阻(PMMA)太厚，你的dose量不夠大，顯不到底，但是這樣圖一定還是會出現. 只是你看到的顏色不是substrate(Al)的顏色。. 當然，如果你PMMA厚，dose量小的很誇張，一定是看不到任何圖樣。. 如果是圖
(還有737個字)
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[情報] 請問E-BEAM相關問題
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者kobe23 (阿德)時間19年前 (2007/01/12 00:39), 編輯資訊
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我目前是想用E-BEAM寫在鋁上面. 我要的pattern寬度大概是100nm. 因為寫的東西很小. 所以我有在要寫的東西的附近做一些可以讓我好對到的pattern. 那個要要用來對準的pattern大約1um（這樣我用OM就看的到）. 但是我卻連這個1um的pattern都寫不出來. 我很沮喪，我
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