[DRC]density error

看板ICDESIGN作者 (鈍石成器)時間18年前 (2005/12/08 22:44), 編輯推噓0(000)
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在跑DRC時,往往會出現density error 是說你的metal占電路的總面積沒有到正常的比例. 這次作業不用考慮這些錯誤. 這是因為這種error是在完成整個晶片後才要考慮的問題. 因此在完成小小一個block時還不用管這些問題:) 實際上在做晶片時,可以用填金屬的方式滿足area coverage, 做一些設定電腦就會幫你把空白的地方填上金屬, (但有人覺得旁邊金屬太多,雜散效應會影響到性能(這是電磁學的領域了)) 但要滿足area coverage 的原因,我想是和光罩有關. 實做時晶片表面填感光劑,上面擺光罩做曝光. 有金屬的地方才會在光罩上挖洞. 如果這些縫隙挖的不夠多,打在光罩上的光線會反射, 影響到原本應該要穿過縫隙打在晶片表面的光, 就會影響到曝光結果(產生不可預期的災難?XD). 所以才會要求挖空的部分一定要占某個百分比以上. 避免上述的情形發生. 唬濫完畢m(_ _)m -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.17.100
文章代碼(AID): #13c4R8Pz (ICDESIGN)
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