[新聞] 中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證已回收
中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證
2018年12月18日 16:54 工商 李書良 中時
解放日報18日報導,近期大陸的中微半導體自主研製的5奈米等離子體刻蝕機經台積電驗
證,性能優良,將用於全球首條5奈米製程生產線。
報導稱,5奈米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一,是積體電路製程工藝最小線寬。台積電
宣布2019年將進行5奈米制程試產、預計2020年量產。
根據國際半導體產業協會資料顯示,2018年第三季,中國大陸半導體設備銷售額首次超越
韓國,預計2019年將成為全球最大半導體設備市場,包括中微半導體、北方華創在內的大
陸設備廠商有望提高設備滲透率。
https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181218003298-260410
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尹志堯同志! 牛逼~~~
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