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[問題] 晶圓和IC的關係and加熱器
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Re: [問題] 晶圓和IC的關係and加熱器
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jfsu
(水精靈)
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(2007/12/11 10:33)
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你其實少提到一段拉晶的過程,而Heater的作用就是在那邊。. 我們使用RF線圈(RF Core)來加熱融溶矽,而個RF Core的裝置就稱為Heater。. 另外,你說的"沈澱、蝕刻、加溫、光阻處理、塗佈、顯影等",這些過程就是把IC. 做在晶圓上(應該不能說IC,要說元件(device),如電晶
(還有568個字)
#1
[問題] 晶圓和IC的關係and加熱器
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作者
hyshi
(popo)
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18年前
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(2007/12/11 00:45)
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小弟目前在做一些調查. 對理工科涉及不深 想請教一下 晶圓的過程. 那我看過書 有點複雜問題 想請教一下. 先IC設計. 晶圓由矽晶棒研磨、拋光、切片後 即成晶圓片. 在晶圓上面再做沈澱、蝕刻、加溫、光阻處理、塗佈、顯影等手續. 然後在把IC弄在晶圓上. 然後再測試 切割 封裝. 這上面哪裡有錯了?
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