Re: [問題] 請問MOS元件Cgs與Cgd
※ 引述《wwwok (AIC)》之銘言：
: 如題 想請問一下各位高手
: 為什麼MOS中D端和S端在G端底下會延伸出去一點?
: 為什麼不剛剛好切齊對準就好?
: 根據我翻書的結論 好像是因為製程上的關係
: 離子佈植和退火後擴散所造成的
: (印象中是不是有一個離子佈植的角度?好像是七度還六度的)
就算切齊對準，曝光機一照，繞射與干射不會讓你有個正正方方的圖案。
而且加上離子佈植和退火，使得這些參雜原子擴散至周圍。
至於你說的角度，那是因為怕離子佈植時，入射原子會沿著某個方向直直地打入最深層。
: Cgs和Cgd的形成是因為這樣來的嗎?
: 這兩個電容對於MOS又會造成何種影響呢?
: 謝謝各位
switch time會變長。
Cgs與Cgd應該包括了自己與fringing effect的部份。
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04/09 00:39, , 1F
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