[問題] 用光阻當絕緣層

看板Electronics作者 (哈啦Cafe)時間17年前 (2008/05/22 21:52), 編輯推噓1(1推 0噓 3→)
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一般半導體製程中，大多是用SiO2、Si3N4...做絕緣層， 但如果直接用光阻(如S1813、PMMA...)來做絕緣層，會有 什麼優缺點呢？ 因為有教授說SiO2、Si3N4漏電流很嚴重，建意我用光阻就 好，真的有這樣的事嗎@@" -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.216.92.220
推
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挖靠 光阻厚度只有10A嗎 而且可以搞得這麼平整嗎
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你做出來保證上eetimes頭條 解決SiO2漏電問題!
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假設同樣是10nm厚的光阻跟SiO2，我可以從哪些參數或關鍵字
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查漏電的數值呢？
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