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討論串[問題] 用光阻當絕緣層
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Re: [問題] 用光阻當絕緣層
推噓1(1推 0噓 1→)留言2則，0人參與, 最新作者jfsu (水精靈)時間17年前 (2008/05/22 23:58), 編輯資訊
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是有人以光阻(PR)來當絕緣層，不過這有一個問題，你要怎麼把PR弄上去?. 目前大多是用旋轉塗佈法(spin coating)，那要如何能精準地控制厚度?. 或許你會說，簡單呀，控制轉速咩，但spin coating因為向心力的關係，. 兩邊會有不同的厚度，而且你擺放的位置也會有影響。. 重點是，s
(還有497個字)
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[問題] 用光阻當絕緣層
推噓1(1推 0噓 3→)留言4則，0人參與, 最新作者MrCafe (哈啦Cafe)時間17年前 (2008/05/22 21:52), 編輯資訊
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一般半導體製程中，大多是用SiO2、Si3N4...做絕緣層，. 但如果直接用光阻(如S1813、PMMA...)來做絕緣層，會有. 什麼優缺點呢？. 因為有教授說SiO2、Si3N4漏電流很嚴重，建意我用光阻就. 好，真的有這樣的事嗎@@". --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc).
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