[問題] SEM原理

看板ChemEng作者 (那年夏天的回憶錄)時間15年前 (2010/10/17 21:41), 編輯推噓2(2推 0噓 2→)
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最近翻閱了SEM的原理 裡面提到SEM試片要求必須是導體 否則應該在表面鍍上一層金 又強調不可是液體或膠狀物質 我們公司有在使用CD-SEM 可是CD-SEM卻可用來觀察晶圓上的光阻影像 光阻是液體狀的，也不導電 卻不要求需是導體或鍍上一層金 這是為甚麼呢 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.216.201.7
推
10/18 22:54, , 1F
試片不導電在常態的SEM下是不能看的
10/18 22:54, 1F
→
10/18 22:55, , 2F
那台應該是有低真空系統吧...導入帶電水蒸氣離子當導電用..
10/18 22:55, 2F
推
10/22 22:13, , 3F
這種CD-SEM會通入Ar..再讓Ar帶電後..撞擊後產生二次電子
10/22 22:13, 3F
→
10/25 13:37, , 4F
鍍上一層碳也行 你鍍金太貴了
10/25 13:37, 4F
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Hrich
15年前, 10/17
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