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討論串[問題] SEM原理
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Re: [問題] SEM原理
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者littlest (讀冊人...)時間15年前 (2010/10/18 11:06), 編輯資訊
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導體或鍍金是要讓電荷可以導掉,. 除了讓雜訊減少外(電荷累積會造成雜訊), 亦可以避免sample燒掉變黑,. 通常sample燒掉變黑就會產生氣體揮發, 而破壞儀器的真空度,. 所以, 若你的sample不容易燒掉, 或是就算燒掉真空度提高, 貴公司也不太介意的話,. 基本上sample會不會導電
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[問題] SEM原理
推噓2(2推 0噓 2→)留言4則，0人參與, 最新作者Hrich (那年夏天的回憶錄)時間15年前 (2010/10/17 21:41), 編輯資訊
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最近翻閱了SEM的原理. 裡面提到SEM試片要求必須是導體. 否則應該在表面鍍上一層金. 又強調不可是液體或膠狀物質. 我們公司有在使用CD-SEM. 可是CD-SEM卻可用來觀察晶圓上的光阻影像. 光阻是液體狀的，也不導電. 卻不要求需是導體或鍍上一層金. 這是為甚麼呢. --. ※ 發信站: 批
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