Re: [製程] 請問關於共蒸鍍(共摻雜)
首先你要知道A,B蒸氣壓vs T 的曲線
這樣你才好判斷在共蒸鍍時的鍍膜比例
理論上A,B的檔板應該是要同時開啟 不然怎麼稱為共蒸鍍
常見的材料 你可以查查文獻
應該會有總壓固定 不同溫度與流量的鍍膜速率參數
如果是少見或是查不到數據的話
科學一點的方法就是
先固定A材料的蒸鍍速率
改變B的鍍膜速率
然後去做SEM 可以得到正確膜厚 可推之總鍍膜速率
去做ESCA(XPS) 可以得到元素比例與鍵結關係
你就會知道材料的A,B百分比了
※ 引述《jimmys1home (jimmy)》之銘言：
: 各位先進：
: 想請教一下關於有機材料在共摻雜時，該如何了解其摻雜的比例呢?
: 我是用石英震盪片偵測膜厚的，例如我要把A跟B共摻雜比例為5:1，鍍20nm好了，
: 那我等兩個材料的蒸鍍溫度到了之後同時開檔板嗎?
: 我不曉得該如何觀察膜厚計所顯示的厚度與我的摻雜比例關係。
: 我猜想是需要改變蒸鍍速率嗎?讓我的A材料鍍快一 點，B材料鍍慢一點，
: 等膜厚到了關檔板，只是不曉得比例是?????
: 請各位有經驗的人們交交我吧，謝謝大家~~~
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