[製程] 請問關於共蒸鍍(共摻雜)
各位先進：
想請教一下關於有機材料在共摻雜時，該如何了解其摻雜的比例呢?
我是用石英震盪片偵測膜厚的，例如我要把A跟B共摻雜比例為5:1，鍍20nm好了，
那我等兩個材料的蒸鍍溫度到了之後同時開檔板嗎?
我不曉得該如何觀察膜厚計所顯示的厚度與我的摻雜比例關係。
我猜想是需要改變蒸鍍速率嗎?讓我的A材料鍍快一 點，B材料鍍慢一點，
等膜厚到了關檔板，只是不曉得比例是?????
請各位有經驗的人們交交我吧，謝謝大家~~~
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