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作者 seda 在 PTT [ comm_and_RF ] 看板的留言(推文), 共3則
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[請益] 有關PECVD
[ comm_and_RF ]3 留言, 推噓總分: +1
作者: yako0411 - 發表於 2018/03/25 01:23(7年前)
1F推seda: 用PECVD的好處是可以低溫（300-400度）沉積S118.150.165.10 04/09 22:55
2F→seda: iO, 用SiH4和N2O。TEOS需要溫度比較高，step118.150.165.10 04/09 22:55
3F→seda: coverage 也比較好118.150.165.10 04/09 22:55
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