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作者 kcaj1009 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共11則

限定看板：NEMS

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[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +1

作者: kcaj1009 - 發表於 2013/06/21 03:07(11年前)

2^F→kcaj1009:了解@_@ 所以說PDMS結構應該還算強要開很高的power才06/21 22:32

3^F→kcaj1009:爛06/21 22:32

[ NEMS ]18 留言, 推噓總分: +4

作者: kcaj1009 - 發表於 2013/04/24 21:52(11年前)

5^F→kcaj1009:我的疑問是為什麼他會一直側吃進去我原本希望oxide下面04/26 19:16

6^F→kcaj1009:是不會被側吃的另外我用30% 50C 有磁石攪拌04/26 19:17

7^F→kcaj1009:我試著加過IPA不過結果差不多頂多氣泡變少04/26 19:18

8^F→kcaj1009:因為我希望可以吃到30um高可是側吃嚴重頂多吃到15um就掛04/26 19:22

9^F→kcaj1009:至於角錐圓錐我不是很在意不過有什麼原因會影響嗎??04/26 19:28

14^F→kcaj1009:是的! 110方向(側向)吃的速度也很快不過會停住主要是因04/27 16:02

15^F→kcaj1009:為遇到蝕刻速率超級慢的111平面不過經過Ice98大大解說04/27 16:03

16^F→kcaj1009:我的pattern較小(5um*5um)加上曝光機台的誤差會造成04/27 16:05

17^F→kcaj1009:遇不到相連的111平面側吃就會很嚴重04/27 16:08

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