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作者 hockeyplayer 在 PTT [ PhD ] 看板的留言(推文), 共3則

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[問題] 請問有沒有板大知道 12吋wafer C O檢測

[ PhD ]7 留言, 推噓總分: +4

作者: naohcl - 發表於 2013/07/08 09:36(12年前)

5^F推hockeyplayer:XPS看表面O ,C並不準確，即使高真空依然會有O,C 吸附07/09 20:42

6^F→hockeyplayer:如果看wafer內層可透過ion etching後再檢測07/09 20:44

7^F推hockeyplayer:學界113，114材料系貴儀都有，業界閎康07/09 20:46

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