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作者 hally07 在 PTT [ ChemEng ] 看板的留言(推文), 共3則
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[材料] 想請教一些關於Cu metallization(diffusion barrier)的問題
[ ChemEng ]9 留言, 推噓總分: +3
作者: hally07 - 發表於 2008/12/29 00:54(17年前)
7F→hally07:我們是希望電阻要低~~可是我在做cu/si之間沒有barrier電阻12/31 02:01
8F→hally07:一直很低~~~沒有像文獻一樣~~~真煩12/31 02:02
9F→hally07:正常就是cu/barrier/si~~~他可以撐很高溫電阻值又很低12/31 02:03
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