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作者 dimo 在 PTT [ ChemEng ] 看板的留言(推文), 共9則

限定看板：ChemEng

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[ ChemEng ]9 留言, 推噓總分: +2

作者: oax - 發表於 2008/11/04 16:17(17年前)

1^F推dimo:假若你的ITO是為非晶形ITO可以利用草酸溶液進行11/04 19:18

2^F→dimo:假若ITO是為多晶形ITO 那就只好利用高濃度HCl或者王水11/04 19:19

3^F→dimo:不過這對你底層的金會有傷害11/04 19:20

5^F推dimo:一般商業用的草酸通常是3.4wt%左右,蝕刻時間的話就不一定11/05 13:12

6^F→dimo:根據之前的經驗大概在2min以內可以蝕刻結束(100nm ITO)11/05 13:13

7^F→dimo:不過這跟ITO表面的情況有相關我之前也是有做過蝕刻時間11/05 13:14

8^F→dimo:一小時都還沒有蝕刻完全的最好自己做一次蝕刻會比較保險11/05 13:15

[ ChemEng ]1 留言, 推噓總分: 0

作者: hgf0224 - 發表於 2008/10/09 21:49(17年前)

1^F→dimo:我星期一就打電話非常感謝~~~10/09 21:54

[ ChemEng ]4 留言, 推噓總分: +3

作者: dimo - 發表於 2008/10/08 10:37(17年前)

4^F→dimo:我星期一就打電話非常感謝~~~10/09 21:54

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