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作者 briscowu 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共10則

限定看板：NEMS

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[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: 0

作者: rainstonein - 發表於 2011/11/14 16:28(12年前)

1^F→briscowu:試看看NDL，最近有委託他們合作試做，尺寸大寫的時間久，11/15 09:21

2^F→briscowu:當然就會比較貴點囉！作研究的話，應該是做小面積即可...11/15 09:21

3^F→briscowu:若線寬不是很細，用stepper可能會較快且便宜點，問看看吧11/15 09:23

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +2

作者: ayeae - 發表於 2011/03/03 21:47(13年前)

1^F→briscowu:1~5nm，愈薄管徑會愈小，但應該多壁的機會大03/03 21:49

2^F→briscowu:我以前都用e-beam蒸鍍，最薄1nm，但均勻性不好控制03/03 21:51

4^F→briscowu:5~10nm應該都會是多壁的，氣體流量對的話很容易長03/04 22:44

5^F→briscowu:鍍膜方式較不易長單壁,要單壁可能就要用其他種催化劑了03/04 22:46

[ NEMS ]20 留言, 推噓總分: +8

作者: Nicholas0917 - 發表於 2009/05/27 00:36(15年前)

10^F推briscowu:1.確認作sputter時溫度是否有超過光阻硬烤溫度05/27 10:46

11^F→briscowu:2.去南微用e-beam鍍05/27 10:46

[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +2

作者: bestco3177 - 發表於 2008/09/19 13:49(15年前)

2^F推briscowu:伯軒實業09/19 19:26

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