作者查詢 / SkyLark2001
作者 SkyLark2001 在 PTT 全部看板的留言(推文), 共1072則
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13F推:我是跟鴻晶買的,種類有Borofloat, Corning跟Sodalime10/08 04:45
14F→:都是切成四吋晶圓形狀。其實玻璃買來可以自己用丙酮洗10/08 04:46
14F推:我覺得剛好相反,我覺得美版剪的很好,敘事流暢09/25 14:02
8F推:要從長計議。加州南加州北可不是台灣南台灣北這種等級08/21 04:49
13F推:沒事,我以為k兄沒去過美國,怕會低估公路旅行的可怕08/23 00:47
14F→:話說SPIE smart structures我已經連三年投了,沒有一08/23 00:48
15F→:年是親自過去的 orz08/23 00:48
2F推:Altidore大爆發,連助攻那球都是他傳給EJ射空門08/15 07:52
3F→:根本就是個人秀。加上他這賽季轉到英超Sunderland08/15 07:53
4F→:看來鄧普西的美國足球一哥位置他要接了08/15 07:53
6F→:回T兄,spin Coating厚度與轉速,時間有關,這是物理08/08 13:18
7F→:機制,放諸四海皆準,有興趣可以進一步去找公式。我印08/08 13:19
8F→:象中公式裡面還有一個重要變數是substrate的表面摩擦08/08 13:20
9F→:係數。不過因為在這邊都是使用同一種光阻,所以我省略08/08 13:20
10F→:上一句打錯,是指同一種substrate08/08 13:21
11F→:至於環境溫度特別是濕度也絕對會影響,但影響量多少08/08 13:22
12F→:我不知道,會不會差到5 um可能要親自做實驗才會知道08/08 13:22
2F推:可以花錢去參加Argosy的locks cruise, 導覽員會告訴你08/08 02:29
1F推:你的金屬多厚?不厚的話請選用1000or 3000系列08/08 02:12
2F→:8000系列太厚,不好做黃光08/08 02:12
5F推:官網 http://tinyurl.com/m4wy2oj08/08 13:07
6F→:你所要的是NR-7系列的(liftoff專用且耐高溫)08/08 13:08
7F→:厚度的話選最薄型的1000系列,保證顯起來跟S1813一樣08/08 13:08
8F→:甚至更漂亮。所以結論是你可以買NR7-1000PY08/08 13:09
9F→:我去年夏天寄信去Futurex問結果是台灣代理商"亞俊"08/08 13:11
10F→:回信給我的,ws5676@ms39.hinet.net詹先生08/08 13:11
11F→:記得不光是光阻,顯影液要用RD6。另外可請詹先生把官08/08 13:12
12F→:方datasheet寄給你,有些網路上找的到有些網路上沒有08/08 13:13
13F推:最後補充就是,其實你這厚度的金屬liftoff用正光阻就08/08 13:26
14F→:可以了...08/08 13:27
1F推:既然都上網查了,為什麼不用microChem的官方參數?08/07 13:54
2F→:我看你的軟烤時間以及spin 60秒就知道這不是官方參數08/07 13:55
3F推:http://microchem.com/pdf/SU8_50-100.pdf08/07 13:59
4F→:光阻厚度取決於spin cycle, MicroChem一律都是轉30S08/07 14:00
5F→:所以我會選擇用1750rpm轉30S,再針對轉出來的厚度08/07 14:01
6F→:增加或減少。至於table1跟fig1顯示還不一樣,你可以08/07 14:01
7F→:2000 rpm跟1750 rpm都試試看08/07 14:01
1F推:你在想Hard mask之前要先去問北微的staff你有哪幾種選08/06 01:57
2F→:擇...不然我猜北微ICPRIE是不給進金屬hard mask的08/06 01:58
3F推:我不知道什麼是DBR,但我想SiO2跟TiO2,你不會想要用08/06 02:05
4F→:ICP RIE去吃的,staff應該也不會准你這樣做,一定得用08/06 02:06
5F→:乾蝕刻的話要用的也是"有對應氣體"的"RIE"。08/06 02:07
9F推:BBC新聞都報了,接近簽約邊緣08/03 17:51
10F→:以往MLS官網很愛報八卦,這次反倒這八卦太大太震驚08/03 17:52
11F→:所以反倒靜悄悄08/03 17:52