[請益] 半導体 薄膜量測儀器

看板Tech_Job作者 (ccj888)時間1年前 (2024/01/07 14:07), 1年前編輯推噓15(17推 2噓 32→)
留言51則, 23人參與, 1年前最新討論串1/1
請問各位做半導体的先進 薄膜製程中，量測厚度的儀器 一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎? 金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎? 國內有那些推薦的廠商? 謝謝幫忙告之! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.250.83.172 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1704607660.A.3CA.html
推
01/07 14:09, 1年前 , 1F
KLA…
01/07 14:09, 1F
※ 編輯: asd9 (111.250.83.172 臺灣), 01/07/2024 14:30:12
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01/07 14:41, 1年前 , 2F
作業自己做
01/07 14:41, 2F
推
01/07 14:46, 1年前 , 3F
J.A.Woollam
01/07 14:46, 3F
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01/07 14:55, 1年前 , 4F
能力好的，用文具店15公分就太夠了。
01/07 14:55, 4F
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01/07 14:56, 1年前 , 5F
我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚
01/07 14:56, 5F
推
01/07 14:58, 1年前 , 6F
橢偏儀廠商…
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01/07 15:13, 1年前 , 7F
我都拿游標卡尺量
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推
01/07 15:15, 1年前 , 8F
橢圓偏振儀 自己功課自己做
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推
01/07 15:35, 1年前 , 9F
金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器
01/07 15:35, 9F
推
01/07 15:44, 1年前 , 10F
XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加
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01/07 15:44, 1年前 , 11F
上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光
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01/07 15:44, 1年前 , 12F
譜不知道要幹嘛而已
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01/07 15:47, 1年前 , 13F
Semilab
01/07 15:47, 13F
推
01/07 17:27, 1年前 , 14F
XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀
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01/07 17:27, 1年前 , 15F
可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear
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01/07 17:27, 1年前 , 16F
ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS
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01/07 17:27, 1年前 , 17F
METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都
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01/07 17:27, 1年前 , 18F
有，看人會不會用。
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推
01/07 17:29, 1年前 , 19F
能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重
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01/07 17:29, 1年前 , 20F
要的
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01/07 17:31, 1年前 , 21F
老經驗的製程調機都用舔的
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01/07 18:27, 1年前 , 22F
我都叫廠商幫量
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推
01/07 19:35, 1年前 , 23F
橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！
01/07 19:35, 23F
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01/07 19:37, 1年前 , 24F
不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD
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01/07 19:38, 1年前 , 25F
有些用AFM也可以
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01/07 20:08, 1年前 , 26F
橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a
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01/07 20:09, 1年前 , 27F
不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎?
01/07 20:09, 27F
推
01/07 20:13, 1年前 , 28F
膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際
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01/07 20:13, 1年前 , 29F
應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如
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01/07 20:13, 1年前 , 30F
果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量
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01/07 20:13, 1年前 , 31F
實戰獲得經驗，1D-3D都是。AFM局限性在於表面，速
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01/07 20:13, 1年前 , 32F
度，耗材，但是粗糙度和底層有光學需要decouple的
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01/07 20:13, 1年前 , 33F
應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec
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01/07 20:13, 1年前 , 34F
t需要考驗test pad設計。
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推
01/07 20:55, 1年前 , 35F
我都用目測的
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01/07 22:57, 1年前 , 36F
桌上J.A.Woollam，in line SEMILAB
01/07 22:57, 36F
推
01/08 06:33, 1年前 , 37F
blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦～ 平面的確
01/08 06:33, 37F
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01/08 06:33, 1年前 , 38F
看顏色就行
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推
01/08 09:50, 1年前 , 39F
魯道夫
01/08 09:50, 39F
推
01/08 11:32, 1年前 , 40F
橢偏有recipe就真的掃掃完事，全新材料有時不見得這
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01/08 11:33, 1年前 , 41F
麽容易！
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推
01/08 11:37, 1年前 , 42F
更不用說SOI上有多層膜，不曉得簡單在那裏？
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01/08 11:38, 1年前 , 43F
不過原理加大量實戰是沒錯的！
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推
01/08 12:17, 1年前 , 44F
菲希爾
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01/08 12:18, 1年前 , 45F
比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠
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01/08 12:18, 1年前 , 46F
買
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推
01/08 12:42, 1年前 , 47F
dispersion 不容忽視阿
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噓
01/09 08:02, 1年前 , 48F
半導本是什麼
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01/09 14:06, 1年前 , 49F
01/09 14:06, 49F
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01/09 14:07, 1年前 , 50F
曲博之前有跟ITRI的專訪有介紹
01/09 14:07, 50F
噓
01/09 14:21, 1年前 , 51F
作業自己寫，什麼是半導本？
01/09 14:21, 51F
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